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随着设备效能提升，ASML亦计划将人工智能应用于机台控制软件与芯片检测流程，以加快生产速度并提升精准度。Pieters表示，公司正在研究是否能进一步扩大芯片印制尺寸上限，同时开发更多扫描与微影工具，支持新世代AI处理器制造。

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15.3.2 深化跨界合作，构建开放共赢的产业生态

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中新社北京3月5日电 题：如何迎接人工智能持续发展？